靶坯作为靶材的核心部分，是高速离子束流轰击的目标材料，在溅射镀膜过程中，靶坯被离子撞击后，其表面原子会被溅射飞散出来并沉积于基板上形成电子薄膜；背板主要起固定溅射靶材的作用，一般需要具备良好的导电、导热性能。

【资料图】

溅射靶材产业链包括金属提纯、靶材制造、溅射镀膜和终端应用等环节。溅射靶材对金属材料纯度的要求较高。平面显示面板用的高纯钼靶（>99.97%）、ITO 靶（>99.99%）等，国内上游企业已具备相对成熟的提纯技术，可以满足靶材的制造要求。

对于半导体芯片用的超高纯靶材（99.999%以上），国内上游厂商的金属提纯技术有限，因此当前主要依赖国外（美国、日本）进口的高纯金属。

溅射靶材主要的应用场景包括半导体芯片、平面显示器、太阳能电池和信息存储等。半导体芯片对溅射靶材的金属材料纯度、内部微观结构等方面有较高的要求；在平面显示器、太阳能电池领域，随着靶材尺寸的增大，靶材的焊接结合率和平整度等需达到更高的标准。

据中商产业研究院2023 年数据显示，目前在溅射靶材的应用分布上，平板显示占比 34%左右，信息存储约占 29%，太阳能电池和半导体芯片分别占比 18%和 11%。

我国靶材市场规模持续增长

靶材及超高温特种功能材料行业作为电子材料的子行业，属于国家重点鼓励、扶持的战略性新兴行业。近年来，为了鼓励国内靶材行业的发展以及加快核心材料的国产替代进程，我国出台了一系列政策措施。靶材作为半导体、显示面板和光伏领域的关键核心材料，在政策支持和国产化替代的大背景下，行业前景广阔。

靶材行业具有较高的行业壁垒，产业集中度较高。一方面，靶材制造工序繁多、技术难度高，生产过程涉及的核心技术包括金属纯度控制和提纯技术、晶粒晶向控制技术、异种金属大面积焊接技术等。

另一方面，靶材行业采取供应商认证机制，认证周期较长，一般为 2-3 年。长期以来，全球的靶材市场主要集中在美国和日本的几家龙头企业，包括霍尼韦尔（美国）、日矿金属（日本）、东曹日本）等。

我国的溅射靶材行业起步较晚，目前仍属于新兴行业，目前该领域的重点企业主要有江丰电子、隆华科技和阿石创等。据华经产业研究院统计，2020 年我国靶材市场外资企业的占比高达 70%，江丰电子、隆华科技和阿石创等国内企业市场份额较低，分别占比 3%、3%和1%。

近年来，国内靶材行业的领先企业加大研发投入，正逐步突破关键技术门槛，部分产品也已投入规模化生产。例如，国产高纯 Mo 靶材、ITO 靶材已实现技术突破，同时依靠国内原材料高纯钼粉、高纯铟等资源优势，已经具备较强的产品竞争力。

在国家政策支持和靶材国产化替代诉求日益强烈的背景下，我国靶材市场规模实现了持续增长，自 2018 年到 2022 年，我国靶材市场规模由 243 亿元增长至 395 亿元，CAGR 为 12.91%。据中商产业研究院测算，2023 年中国靶材市场规模将达到 431 亿元，同比增长 9.11%。

从产品结构和客户结构上看，江丰电子主要生产金属材料的溅射靶材，下游客户涵盖半导体、显示面板和太阳能企业；阿石创的主要产品为金属靶材和化合物靶材，客户主要为显示面板和光学通讯行业；隆华科技的主要靶材产品为钼靶材和 ITO 靶材，主要应用于显示面板领域，目前正逐渐布局光伏电池领域。

消费电子拓展靶材市场空间

ITO 靶材是一种新型半导体氧化物陶瓷材料，是氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过相应的生产工艺加工成型，再高温气氛烧结(1600°C,通氧气烧结)形成的黑灰色陶瓷半导体。

ITO 靶材是半导体光伏、LCD/OLED 显示器等领域核心原材料之一。它主要用于磁控溅射制备高性能 ITO 光电薄膜，在此过程中 ITO 薄膜以 ITO 靶材作为原材料，通过磁控溅射把 ITO 靶材气化溅镀到玻璃基板或柔性有机薄膜上。

ITO 靶材上游主要原材料为金属铟，其国内储量和价格是影响 ITO 靶材大规模生产和应用的主要因素。国内铟矿储量有限，且铟价格存在波动性。

ITO 靶材国产化替代需求强烈。据华经产业研究院数据显示，2019 年，我国已成为 ITO 靶材需求大国，但大部分（约 52%）的 ITO 靶材供应来自国外，国内靶材厂商主要供应中低端市场。当前我国已成为全球最大的显示面板生产基地，ITO 靶材国产化替代进程将不断加速。

ITO 靶材的两大主流应用场景为平板显示和薄膜光伏电池领域。其中，平板显示器用的靶材（FPD 靶材）的纯度要求在 5N 左右，主要用于制作 ITO 玻璃和触控屏电极平板，ITO 靶材在显示靶材中占比将近 50%。

薄膜太阳能电池用的ITO 靶材纯度要求为 4N 左右，主要用于光伏薄膜电池的背电极，该领域使用的主要是方形板状靶材；异质结电池在制备 TCO 导电膜时主要采用 ITO 靶材。

平板显示器主要在显示面板和触控屏面板两个产品生产环节使用溅射靶材，主要包括钼靶、铝靶、铝合金靶、铬靶、铜靶、铜合金靶、硅靶、钛靶、铌靶和ITO 靶材。显示面板市场主要分为 LCD 和 OLED 面板市场。显示面板国产替代化进程加快，国内显示面板市场规模快速扩大，将带动上游靶材行业的发展。

LCD 面板在显示面板市场中占主导地位，主要应用在电视、笔记本电脑等大尺寸屏幕显示领域。近年来，国内厂商京东方、TCL 华星等产能不断释放，逐渐在 LCD 行业占据主导地位，显示面板国产化替代趋势明显。

2020 年国内LCD 面板出货量 89.9 百万平方米，预计 2025 年将达到 115.1 百万平方米，2020-2025 年出货量 CAGR 为 5.07%。

OLED 面板的柔性特质能够满足曲面和折叠屏的需求，被广泛应用于智能手机和智能穿戴等消费电子领域，其市场渗透率正处于快速提升的阶段。2020 年国内 OLED 面板出货量为 1.2 百万平方米，预计到 2025 年将达到 6.1 百万平方米， 2020-2025 年出货量 CAGR 为 38.43%。

随着宏观经济环境好转，智能手机行业有望回暖。2022 年，凭借其创新性形态和沉浸式大屏体验，折叠屏手机实现了 154.40%的高增长率，随着国内厂商的陆续入局和产品迭代，预计未来将会持续保持较高的增长率。

消费电子行业回暖有利于上游显示面板和靶材行业的业务增长。OLED 面板因其柔性特质能够满足折叠屏电子产品的生产需求，随着折叠屏手机出货量的上升，OLED 面板市场渗透率预计会快速上升，拓展平板显示用靶材的市场空间。

ITO是HJT光伏电池生产主流靶材

在“碳达峰/碳中和”目标、清洁能源转型等因素的推动下，光伏发电将逐渐取代传统化石能源，未来发展潜力巨大。2019 年至 2021 年，中国光伏发电量由 2243 亿千瓦时增加至 3259 亿千瓦时，CAGR 为 20.54%，预计 2023 年将达4206 亿千瓦时。

光伏产业的发展带动光伏电池产量增长，2019 年-2021 年国内光伏电池产量分别为 12862.1、15728.6 和 23405.4 万千瓦时，CAGR 为 34.90%，预计 2023 年将上升至 44484.1 万千瓦时。

光伏电池可分为晶体硅光伏电池和薄膜光伏电池两大类。其中，晶体硅光伏电池占据光伏电池市场主导地位，较少使用溅射靶材；薄膜光伏电池常用的靶材包括铝靶、铜靶、钼靶、铬靶、ITO 靶 和 AZO 靶等。目前，HJT 电池和钙钛矿电池都是第三代光伏电池具有潜力的竞争者。

HJT电池全称为晶体硅异质结太阳电池，由晶硅材料和非晶材料形成，在晶体硅上形成非晶体薄膜，并通过特殊技术让 P 型和 N 型半导体构成特殊的 PN 结，属于 N 型电池的一种。

异质结电池是一种高效晶硅太阳能电池结构，利用晶体硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池，即在 P 型氢化非晶硅和 N 型氢化非晶硅与 N 型硅衬底之间增加一层非掺杂（本征）氢化非晶硅薄膜。

ITO 靶材是目前 HJT 光伏电池生产的主流靶材。HJT 电池行业上游原材料包括硅、银浆、靶材等;中游主要为电池片的生产制造，主要流程包括清洗制绒、正反面沉积非晶硅薄膜，正反面沉积 TCO 薄膜、丝网印刷、低温固化等。

下游为光伏组件行业。HJT 技术路线因导电性问题，引入了透明导电薄膜（TCO），TCO 膜通常使用 ITO（氧化铟锡）进行制备，原材料为稀有金属铟，但由于铟是伴生矿，产量弹性小且价格高，因此，制作 HJT 电池的靶材成本占比相对较高，约为 1%。

钙钛矿(CaTiO3)是于 1839 年发现的一种新矿石,为了纪念地质学家 L A Perovskite,将其命名为 Perovskite,中文名称为钙钛矿。随后，与 CaTiO3 晶体结构类似的化合物都统称为钙钛矿,以 ABX3 形式表示。

钙钛矿光伏成本中靶材成本占比较大。根据协鑫光电的数据，钙钛矿组件中靶材、玻璃等成本占比达 30%以上，而在 2022 年 HJT 电池成本构成中，靶材成本占比约为 1%。相比于晶硅技术路线，钙钛矿技术中的靶材价值量进一步提升。钙钛矿电池中 ITO 导电玻璃、空穴传输层、电子传输层、金属背电极的制作均会用到各类靶材。

由于钙钛矿电池具备制备成本低、光电转换效率高等优势，被认为是未来最具产业化前景的新型薄膜太阳能电池。随着钙钛矿电池技术不断优化以及相关企业加大产能布局，CPIA 预计 2023 年钙钛矿电池新增产能将达 0.5GW，2030年将快速增长至 161GW。同时，钙钛矿电池的市场渗透率也将迅速提升，预计2023年钙钛矿电池渗透率将达到 0.2%，2030 年将增长至 30%。